8월 28일 수원컨벤션센터에서 열린 경기도수원시, 한국나노기술원, 화합물반도체기술협의회에서 주관한 Semiconductor Next Leaders Contest 2025 대회에서 화공신소재공학전공 오연서 학부생이 ‘ALD 기반 Ru 박막 성능 최적화:HCP-FCC Gradient 구조 제어를 통한 공정 혁신’의 주제로 수원시장상(대상)을 수상했고,Semiconductor Next Leaders Contest 2025 대회 수원시장상(대상) 수상함. 오연서 학생은 차세대 ALD증착기술과 후공정 신뢰성이 중요해져 각광받는 차세대 신재료Ru을 접목시킨뒤, Ru의 phase별 특성이 다르다는점을 활용해 HCP와 FCC Ru를 각각 증착하는 창의적 Hybrid 구조 아이디어를 제시함. 각 층별 recipe를 고안하고, 그에 따른 두께와 저항을 python simulation을 돌려 검증함.
